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X射線薄膜測(cè)厚儀的檢測(cè)原理及優(yōu)勢(shì)
測(cè)厚儀(薄膜測(cè)厚儀)使用軟X射線(soft X-rays)。以非接觸方式(軟 X 射線)測(cè)量片材和板狀物體的厚度和密度(基重)。不是直接測(cè)量厚度,而是通過(guò)與參考材料比較來(lái)計(jì)算厚度和密度(基重)。
通常,為了測(cè)量片材寬度方向的厚度分布,檢測(cè)系統(tǒng)由掃描儀攜帶并測(cè)量。激光位移計(jì)一般用作非接觸式測(cè)量厚度的手段,但如果將激光位移計(jì)安裝在掃描儀上,則在運(yùn)輸過(guò)程中只能以遠(yuǎn)低于激光位移計(jì)的精度進(jìn)行運(yùn)輸。運(yùn)輸,導(dǎo)致結(jié)果。高精度的測(cè)量是困難的。
另一方面,在X射線測(cè)厚儀等通過(guò)透射衰減估算厚度的方法中,測(cè)量的是空氣層-樣品-空氣層與透射之間的衰減,但樣品的衰減遠(yuǎn)大于,傳輸?shù)挠绊懼槐憩F(xiàn)為空氣層厚度的變化,影響較小。因此,可以高精度地測(cè)量。
X 射線測(cè)厚儀的一般特點(diǎn)
無(wú)需規(guī)定放射線處理負(fù)責(zé)人或X射線工作負(fù)責(zé)人或設(shè)置控制區(qū)域
(需要通知?jiǎng)趧?dòng)標(biāo)準(zhǔn)檢查辦公室)
路徑錯(cuò)誤可以忽略
元素依賴性大
與傳統(tǒng)的軟 X 射線測(cè)厚儀相比,我們的軟 X 射線測(cè)厚儀的特點(diǎn)
探測(cè)器和 X 射線源結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕,甚至可以安裝在狹窄的線路中。
寬測(cè)量范圍(材料/厚度)
采用
銅箔、鋁箔、不銹鋼箔
電池電極
陶瓷(片材、晶片)
玻璃纖維布