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采用球型 SAW 傳感器技術(shù)的微量水分計(jì)
Ball Wave的基本技術(shù)“Ball SAW Sensor"是一種創(chuàng)新的化學(xué)傳感技術(shù),實(shí)現(xiàn)了小尺寸、高速和高靈敏度。
直徑1mm
通過(guò)將作為超聲波之一的表面聲波 (SAW) 限制在帶狀的球體表面上而致密。
薄感光膜
由于軌道SAW多次穿過(guò)敏感膜,即使敏感膜很薄也可以測(cè)量氣體響應(yīng),而且由于敏感膜很薄,因此在膜中的擴(kuò)散時(shí)間短且速度快。
長(zhǎng)距離傳播
SAW因敏感膜上的氣體吸附而引起的物性變化在一圈內(nèi)非常小,重復(fù)幾圈可以擴(kuò)大變化,靈敏度高。
根據(jù)測(cè)量對(duì)象的不同,通過(guò)在微小的水晶球(球)表面形成不同的敏感膜,可以測(cè)量各種氣體和氣體,如微量水、氫氣、天然氣和有機(jī)混合氣體。
除了水晶球的耐高溫和高壓外,它還具有比傳統(tǒng)技術(shù)高約 100 倍的靈敏度和高速響應(yīng),擴(kuò)展了未有的全新傳感器系統(tǒng)的可能性。
SAW;表面聲波 表面聲波
當(dāng)在球體表面激發(fā)表面波,其寬度為球體直徑和波長(zhǎng)的幾何平均寬度時(shí),
會(huì)發(fā)現(xiàn)表面波作為自然平行光束多次繞行的物理現(xiàn)象,不會(huì)引起一種衍射現(xiàn)象。
多圈SAW擴(kuò)展了聲速變化和衰減系數(shù)隨圈數(shù)的變化,可以更準(zhǔn)確地測(cè)量變化。
通過(guò)在這種多循環(huán)傳播路徑上安裝敏感膜,可以獲得緊湊、高速、高靈敏度的球型 SAW 傳感器。
超微量水分計(jì)“Falcon Trace"是使用球型SAW傳感器定量測(cè)量工業(yè)氣體和天然氣中極微量水分子的設(shè)備。
響應(yīng)速度極快,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)含水量變化,可測(cè)量含水量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)。氣體中的水濃度可以精確測(cè)量到 1 ppb (1/10 億) 的水平。
① 表面聲波(IDT;Inter Digital Transducer)產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道線上循環(huán),對(duì)所施加的敏感膜的微小變化作出
反應(yīng) ③ 反應(yīng)后表面聲波的信號(hào)變化 異形電極檢測(cè)
④ 通過(guò)多輪積分微小變化實(shí)現(xiàn)高靈敏度傳感。