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產(chǎn)品型號(hào):
所屬分類:物理性能檢測(cè)儀
產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-06
簡(jiǎn)要描述:日本電測(cè)densoku熒光X射線膜測(cè)厚儀EX-731極小面積的高精度測(cè)量和出色的可操作性大尺寸基板的測(cè)量?通過(guò)使用雙重過(guò)濾器以gao精度和jia佳條件進(jìn)行測(cè)量?通過(guò)將鼠標(biāo)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量位置來(lái)快速對(duì)準(zhǔn)?多任務(wù)功能甚至在測(cè)量過(guò)程中也可以創(chuàng)建報(bào)告等其他處理?小準(zhǔn)直儀可以測(cè)量直徑為0.05毫米的極小零件
日本電測(cè)densoku熒光X射線膜測(cè)厚儀EX-731
采用雙重過(guò)濾器
通過(guò)使用除數(shù)值濾波器以外的機(jī)械濾波器(雙重濾波器),可以在jia條件下進(jìn)行測(cè)量,從而始終獲得gao的精度。
自動(dòng)測(cè)量階段
通過(guò)將鼠標(biāo)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量位置來(lái)實(shí)現(xiàn)快速對(duì)準(zhǔn)。如果注冊(cè)測(cè)量位置,則可以進(jìn)行連續(xù)自動(dòng)測(cè)量。坐標(biāo)校正和通道鏈接支持各種模式。標(biāo)準(zhǔn)板校準(zhǔn)也可以自動(dòng)測(cè)量。
完整的報(bào)告創(chuàng)建功能
通過(guò)采用MS-Windows軟件,可以輕松捕獲測(cè)量屏幕,并增強(qiáng)報(bào)告創(chuàng)建功能。使用多任務(wù)功能,即使在測(cè)量期間也可以進(jìn)行包括報(bào)告創(chuàng)建在內(nèi)的其他處理。
5種準(zhǔn)直儀
小準(zhǔn)直儀為0.1φmm,可以測(cè)量極小的零件。標(biāo)準(zhǔn),0.1、0.2、0.5、1.0、2.0
另外,有兩種特殊規(guī)格可供選擇。
? 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
? 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5
自診斷功能和X射線管維護(hù)功能
使用自診斷功能,可以迅速解決設(shè)備故障。此外,增加了顯示X射線管使用時(shí)間和使用壽命的功能,以支持維護(hù)安全。
膜厚測(cè)量中的頻譜顯示
通過(guò)多通道進(jìn)行光譜分析高速處理使顯示被測(cè)物的光譜變得容易。(處理速度約2-3秒)
在測(cè)量部分顯示監(jiān)控圖像
在Windows屏幕上捕獲X射線照射單元并顯示X射線照射單元。準(zhǔn)直儀提供了改變尺寸的放大倍率功能。
可視顯示測(cè)量對(duì)象的鍍層附著力分布
三維圖形顯示可輕松查看測(cè)量對(duì)象的鍍層厚度分布。
Be 窗口X射線管(選件)提高的性能(高精度)
我們已經(jīng)為熒光X射線膠片厚度計(jì)準(zhǔn)備了Be窗口X射線管。
通過(guò)使用Be窗口X射線管,Cr測(cè)量和Ni測(cè)量的重復(fù)測(cè)量精度顯著提高。
與標(biāo)準(zhǔn)X射線管的比較
Sn等的高能量(高原子序數(shù))測(cè)定與以前相同。
當(dāng)測(cè)量低能量(低原子序數(shù))的Cr和Ni時(shí),Cr的重復(fù)性提高了約3倍,Ni的重復(fù)性提高了約2倍。
當(dāng)測(cè)量?jī)蓪訒r(shí),中間層中Ni的測(cè)量精度提高了約20%。
通過(guò)使用Be窗口X射線管,Cr的熒光X射線強(qiáng)度比常規(guī)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的熒光X射線強(qiáng)度高大約9倍。
因此,可以在短時(shí)間內(nèi)以與以前相同的精度進(jìn)行測(cè)量。
請(qǐng)考慮使用此Be窗口X射線管。
日本電測(cè)densoku熒光X射線膜測(cè)厚儀EX-731
類型 | 手動(dòng)階段 | 電動(dòng)舞臺(tái) | ||
測(cè)量頭 | 尺寸(毫米) | 170 x 110 | 300 x 280 | |
運(yùn)動(dòng)量 | X(毫米) | 70 | 80 | |
Y(毫米) | 70 | 60 | ||
Z(毫米) | 80(大物體高度150) | 50 | ||
被測(cè)物體高度(大) | 80(選件150) | 50 | ||
尺寸(毫米) | 600(寬)x 465(深)x 730(高) | |||
重量(公斤) | 79 | 85 | ||
樣品負(fù)荷(kg) | 3 | 2 | ||
電腦 | 尺寸(毫米) | 機(jī)身182(W)x 383(D)x 372(H) /顯示器412(W)x 415(D)x 432(H) | ||
重量(公斤) | 主機(jī)6.8 /顯示器2.8 | |||
打印機(jī) | 重量(公斤) | 3.4 | ||
電源供應(yīng) | AC100V±10V的 |
(注)規(guī)格如有變更,恕不另行通知。
X射線源 | 油浸式微聚焦X射線管 靶:鎢 管電壓50kV, 管電流可變 |
照射方式 | 頂部垂直照射法 |
探測(cè)器 | 比例柜臺(tái) |
準(zhǔn)直儀 | 5種(自動(dòng)切換類型) 0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm (選件):0.05、0.1、0.2、0.3、0.5 ,φ :0.05×0.5、0.5×0.05、0.1、0.2、0.5φ |
樣品觀察 | CCD彩色相機(jī) |
電腦 | 兼容PC / AT的 17英寸彩色顯示器 |
打印機(jī) | 噴墨打印機(jī) |
測(cè)量對(duì)象 | 原子序數(shù)22(Ti)至82(Pb) 原子序數(shù)21以下可通過(guò)吸收法測(cè)定 |
過(guò)濾 | 2種(Co,Ni)自動(dòng)切換 |
可測(cè)范圍 | 原子數(shù)22至24:0.02至約20μm 原子數(shù)25至40:0.01至約30μm 原子數(shù)41至51:0.02至約70μm 原子數(shù)52至82:0.05至約10μm |
校正曲線 | 自動(dòng)校準(zhǔn)曲線創(chuàng)建功能 多點(diǎn)校準(zhǔn)曲線 |
校正功能 | 基礎(chǔ)校正 |
應(yīng)用 | 單層鍍層測(cè)量 兩層鍍層測(cè)量 三層鍍層測(cè)量 合金膜厚成分比同時(shí)測(cè)量 化學(xué)鍍鎳測(cè)量 |
測(cè)量功能 | 自動(dòng)測(cè)量 輸出格式設(shè)置 頻譜測(cè)量 兩點(diǎn)之間的距離測(cè)量 |
自動(dòng)表功能 | 測(cè)量位置(XYZ) 相同圖案重復(fù)功能 原點(diǎn)校正功能 測(cè)量位置確認(rèn)功能 自動(dòng)校準(zhǔn) |
數(shù)據(jù)處理功能 | 統(tǒng)計(jì)顯示:平均值,標(biāo)準(zhǔn)偏差,大值,小值,范圍,Cp,Cpk 直方圖 輪廓顯示 測(cè)量數(shù)據(jù)三維顯示 x-R控制圖 |
安全功能 | X射線電源鑰匙開關(guān) 故障安全功能 |
其他特性 | 平臺(tái)坐標(biāo)顯示 密碼功能 設(shè)備維護(hù) |